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F1012微流量传感器

产品详情

F1012微流量传感器是利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测，具有很好的精度与重复性。内置有温度传感器，每只都进行专有的温度补偿校准；同时具有线性模拟电压输出，方便使用。

产品优势

新一代MEMS传感器芯片技术；精度高，响应速度快，重复性好；可精准测量极小流量；经过完全校准和温度补偿；

产品应用

工业过程控制；空气和环境保护；便携式呼吸机

技术指标

产品型号	F1012
量程①	50、100、200、500、1000、1200、2000sccm②
	最小	典型值	最大	单位
满量程输出	4.90	5.00	5.10	V
零流量输出	0.96	1.00	1.04	V
输出阻抗	-	200	-	Ω
工作电压	7.0	10.0	14.0	V
工作电流	15	25	30	MA
精度	-	±1.5	±2.5	%F.S
重复性	-	±0.3	±0.5	%F.S
年漂移③	-	±0.1	±0.5	%F.S
耐压	-	-	200	kPa
反应时间	45	50	55	ms
工作温度④	-25	-	65	℃
储存温度	-40	-	90	℃

注：

①可提供50-2000sccm之间任意量程。

②sccm：standard-state cubic centimeter per minute，意义为标况毫升每分钟，标况规定为：气体温度0℃ ;气压101.325 kPa;

③测试条件为室温、清洁空气。

④温度补偿实校范围为0℃-50℃，超过此范围温度补偿效果不能保证。

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技术指标

产品型号	F1012
量程①	50、100、200、500、1000、1200、2000sccm②
	最小	典型值	最大	单位
满量程输出	4.90	5.00	5.10	V
零流量输出	0.96	1.00	1.04	V
输出阻抗	-	200	-	Ω
工作电压	7.0	10.0	14.0	V
工作电流	15	25	30	MA
精度	-	±1.5	±2.5	%F.S
重复性	-	±0.3	±0.5	%F.S
年漂移③	-	±0.1	±0.5	%F.S
耐压	-	-	200	kPa
反应时间	45	50	55	ms
工作温度④	-25	-	65	℃
储存温度	-40	-	90	℃

注：

①可提供50-2000sccm之间任意量程。

②sccm：standard-state cubic centimeter per minute，意义为标况毫升每分钟，标况规定为：气体温度0℃ ;气压101.325 kPa;

③测试条件为室温、清洁空气。

④温度补偿实校范围为0℃-50℃，超过此范围温度补偿效果不能保证。